Интерферометры Тваймана-Грина µPhase

Ключевыми особенностями интерферометров µPhase является:

  • высокое разрешение камеры (1200х1200 пикселей);
  • малая погрешность (≥ λ/35 PV) и высокая повторяемость измерений
    (≥ λ/35 PV, ≥ λ/6500 RMS);
  • встроенная система смены фильтров для адаптации к поверхностям с коэффициентом   отражения от 0,3 до 100%;
  • устойчивость к внешним вибрациям;
  • малое время измерения (математическая оценка результата измерения в ПО менее 1 с);
  • возможность измерений в любом направлении не зависимо от положения камеры, что позволяет использовать датчик с различными стойками);
  • гос. реестр СИ

Модульный принцип прибора позволяет оптимально подобрать объективы, стойку и необходимые программные модули для решения именно вашей измерительной задачи!

ПараметрЗначение
Габариты датчика, (ДхШхВ), мм130х60х100
Длина волны источника излучения, нмот 355 до 1064
Длина когерентности источника излучения, м100
Нижний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм0,032
Верхний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм20
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм±0,032

Интерферометры µPhase в сочетании со стойками Plano Down, Plano Up и Horizontal успешно применяются для контроля отклонения от плоскостности плоскопараллельных пластин, КМД, зеркал и др. плоских светоотражающих деталей.